技术原理

与其他仅限于同轴照明的光学技术相比，***可测量的斜率角不仅取决于物镜的数值孔径。Focus-Variation可以与大范围的不同照明源（如环形灯）一起使用，这允许测量超过87°的斜率角。通过分光镜，从白光源 发出的 光被引入系统的光路，通过物镜聚焦到样品上。当光通过物镜照射到样品上时，就会向 几个方向反射。所有从样品中出现并击中物镜的光线都被捆绑在光学系统中，并被分光镜后面的光敏传感器收集。为了对表面进行全景深的完整检测，精密的光学器件沿着光轴垂直移动，同时不断捕捉表面的数据。算法将获得的传感器数据转换为三维信息，并创建一个具有全景深的真彩色图像。这是通过分析沿垂直轴的焦点变化而实现的。

除了扫描的高度数据外，Focus-Variation还提供了一个全景深的彩色图像，该图像被注册到三维点上。

这提供了一个光学彩色图像，就测量区域或独特的表面特征的识别和定位而言，它简化了测量。样品表面的光学彩色图像和其深度信息之间的视觉相关性往往是相互关联的，因此是有意义的三维测量的一个重要方面。由于所描述的技术依赖于对焦点变化的分析，它只适用于在垂直扫描过程中焦点变化充分的表面。不符合这一要求的表面，如透明的样品或只有小的局部粗糙度的部件，是很难测量的。

通常情况下，Focus-Variation为局部Ra为0.009μm、lc为2μm的表面提供可重复的测量结果。Focus-Variation被用来进行高分辨率的三维表面测量，以保证生产中的质量，以及实验室中的研究和开发活动。主要应用于表面分析和表征，如工具和模具制造、精密制造、航空航天、汽车工业、各种材料科学、腐蚀和摩擦学、电子、医疗设备开发。由于其技术规格，Focus-Variation技术被用于形状和粗糙度测量。

用进阶的焦点变化技术解锁新的可能性